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真空等離子處理儀在一定的真空條件下，對(duì)氣體施加能量使其成為等離子狀態(tài)，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)高效清洗微觀(guān)和納米級(jí)別的表面污垢和有機(jī)物。通過(guò)使用等離子體處理樣品表面從而實(shí)現(xiàn)表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，并通過(guò)真空泵用連續(xù)氣流將其排出等離子清洗儀